Tổng quan về một số phương pháp chế tạo vật liệu bán dẫn hệ thấp chiều

Trong bài báo "Tổng quan về một số phương pháp chế tạo vật liệu bán dẫn hệ thấp chiều", tác giả liệt kê các phương pháp phổ biến hiện nay trên thế giới để chế tạo vật liệu bán dẫn với cấu trúc nano, bao gồm có phương pháp phún xạ, đồng phún xạ, phương pháp bốc bay nhiệt, phương pháp ăn mòn hóa học, phương pháp ăn mòn điện hóa, phương pháp sử dụng ba pha rắn-lỏng-khí. Mời các bạn cùng tham khảo!